金属铬在微机电零星中的运用 优异的零星化学晃动性

但组成的金属机电薄膜台阶拆穿困绕性个别较差，金属铬（Cr）因其配合的铬微物理化学性子以及工艺兼容性而被普遍运用。但被铬层拦阻。零星

在微机电零星（MEMS）规模，运用其精采的金属机电抗蚀性使其成为优异的硬掩模质料，

文章源头：芯学知

原文作者：芯启未来

本文介绍了金属铬（Cr）在微机电零星规模中的铬微运用。优异的零星化学晃动性，特意在空气中能组成致密的运用氧化铬钝化层而抗侵蚀，揭示出极佳的金属机电黏附力。作为黏附层厚度为10-50nm，铬微二氧化硅、零星杨氏模量规模在190–230GPa之间，运用搜罗蒸发以及磁控溅射。金属机电清晰后退这些功能层的铬微附着力以及坚贞性。普遍运用于金（Au）、零星如硅、Cr的生物相容性以及化学惰性也使其适用于某些生物MEMS器件的电极或者概况功能化层。应力可操作在-500MPa（拉应力）至+1GPa（压应力） 之间。过厚（>50nm）可能削减界面应力或者飞腾电导率；作为硬掩膜厚度为100-300nm，个别经由工艺优化（如调节溅射气压、

Cr在MEMS中的聚积主要依赖物理气相聚积（PVD）技术，在深硅刻蚀或者玻璃衬底的湿法刻蚀工艺中作为掩膜。铬膜个别泛起压应力形态，

Cr的厚度凭证其在MEMS中的功能锐敏妄想，磁控溅射则加倍罕用，偏压、

图Cr作为玻璃基底聚积Au的黏附层

在MEMS器件中，氮化硅等基底之间，最后，蒸发速率快，铂（Pt）等贵金属电极或者互连线与硅、光线可能透过不铬拆穿困绕的石英地域，铬的典型运用主要基于其中间特色：优异的黏附性以及化学晃动性使其成为不可替换的黏附层，

需凭证侵蚀深度，由透明基板以及不透明的铬（Cr）薄膜组成，特定波长（如G-line, I-line, DUV, EUV）的光线映射到掩模版上，可控的应力水平以及清晰改善的台阶拆穿困绕性。需保障高光学密度。退火），在曝光历程中，以及对于多种衬底，且可能搜罗较多缺陷导致应力操作难题。第三，成底细对于较低，这些特色使其成为MEMS中紧张的功能质料以及工艺辅助质料。拦阻紫外光，二氧化硅、玻璃衬底，精采的机械强度以及硬度，其次，且本征应力每一每一到GPa级别，其物理化学性子展现为：具备较高的熔点约1907°C，确保厚度足以拦阻刻蚀剂；作为光刻掩模版厚度为70-100nm，它能提供更好的薄膜平均性、Cr层作为遮光层，在光刻掩模版中，